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石墨熱場的設計制造是什么?
jcshimo   |   2023-08-26 14:58:06

     直拉單晶爐的熱系統(tǒng),也就是所謂的熱場,石墨熱場系統(tǒng)的作用是指為了熔化硅料,并使單晶生長保持在必定溫度下進行的整個系統(tǒng)。
    石墨熱場一般包含(石墨材料)壓環(huán)、保溫蓋、上中下保溫罩、石墨坩堝(三瓣堝)、坩堝托桿、坩堝托盤、電極、加熱器、導流筒、石墨螺栓,且為了防止漏硅,爐底、金屬電極、托桿、都設置了保護板、保護套。
    單晶爐石墨熱場簡略的說就是用來拉單晶硅的整套石墨加熱系統(tǒng)。常見的是18寸、22寸和24寸的石墨熱場。一種盛行的石墨熱場職業(yè)標準規(guī)劃規(guī)劃方案是選用石墨材料制造熱場隔熱部件。標準的石墨保溫材料由板狀或許多層毯狀石墨化碳纖維材料組成,在接近熱場中心的內(nèi)表面往往需求加覆一層石墨紙或碳碳復合材料薄板用來提高熱反射率和防止高壓氣流的沖刷。
    因為等靜壓石墨熱場材料自身所具有的多孔性和可滲透性,各層隔熱材料之間不需求預留額定的空間。石墨材料具有優(yōu)異的隔熱性能,本錢一般較金屬屏低,而且十分易于使用。就制造本錢,耐用性和可維護性而言,石墨隔熱軟氈較石墨隔熱硬氈具有必定的優(yōu)勢。經(jīng)過生產(chǎn)實踐,金屬隔熱屏往往不適于環(huán)境惡劣的真空釬焊工藝。
    石墨熱場廠家用石墨材料制造石墨熱場的隔熱部件,實踐證明,雖然在釬焊工藝中會有許多焊料沉積在石墨隔熱材料的表面,但是卻不會產(chǎn)生熔解的焊料與石墨隔熱材料的熔合現(xiàn)象。雖然有人會質(zhì)疑,以為石墨材料比金屬材料更簡略吸收水分,水分對釬焊工藝進程危害很大,但是,實踐證明熱場循環(huán)往復的升溫與降溫會很好地排除石墨隔熱材猜中的水分。
石墨熱場的特性如下:
    一.單晶硅石墨熱場,是一個及物理,化學,幾何歸納理論為一體,專門研究人員經(jīng)過多年重復考證。多年經(jīng)驗總結擬定。
    二.熱場選用細結構中粗石墨做爐底護盤,保溫罩,上下蓋。選用進口等靜壓石墨做加熱器,坩堝,導流筒,托桿,鍋托等,保證了石墨坩堝的強度及純度。
    三.熱場是單晶硅成晶的重要條件之一,熱場的梯度分布直接影響著能不能拉出單晶,以及拉制單晶的質(zhì)量好壞,其質(zhì)料好壞直接影響熱場壽命。

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