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石墨熱場(chǎng)零件加工技術(shù)有哪些?
jcshimo   |   2022-08-01 16:33:48

隨著社會(huì)經(jīng)濟(jì)的發(fā)展,很多單晶硅廠家在石墨熱場(chǎng)的使用上都比較熟練。 有兩個(gè)原因:

正面,石墨氈保溫效果好,厚度達(dá)到100mm,有效保證了徑向梯度溫度可能很小的情況。

一、長(zhǎng)熱的原因是石墨坩堝的厚度可以達(dá)到250mm,而上、中、下保溫桶的口徑可以足夠大,有足夠的縱向散熱。 眾所周知,石墨坩堝在使用過(guò)程中存在的問(wèn)題會(huì)減少石墨坩堝的使用時(shí)間,也會(huì)增加廠家自身的成本。 如果您有制造石墨坩堝和熱場(chǎng)加工零件的經(jīng)驗(yàn),我們來(lái)詳細(xì)談?wù)勈珶帷?現(xiàn)場(chǎng)生產(chǎn)中的常見(jiàn)問(wèn)題,我們應(yīng)該如何處理。

1.特殊的抗熱震性。 石墨的熱膨脹是各向異性的,所以微觀膨脹系數(shù)不大。 在溫度突然變化的情況下,石墨的體積變化不大。 導(dǎo)熱性好,因此石墨的抗熱震性非常好。 如上兩點(diǎn)所述,石墨熱場(chǎng)零件應(yīng)能在高溫下長(zhǎng)期穩(wěn)定工作。

???    正常情況下,與保溫罩、加熱器等其他石墨設(shè)備相比,翻板坩堝的材質(zhì)相同、廠家相同、工作環(huán)境相同。 為什么使用壽命遠(yuǎn)低于保溫罩和加熱器? 三葉坩堝開(kāi)裂的主要原因來(lái)自石英坩堝。 1、由于熔融硅的密度大于固態(tài)硅,在冷卻過(guò)程中,鍋底料會(huì)破壞石英坩堝,將石英坩堝裝在三葉坩堝上。 , 當(dāng)石英坩堝劈裂產(chǎn)生的應(yīng)力大于三葉坩堝所承受的應(yīng)力時(shí),三葉坩堝就會(huì)開(kāi)裂,這就是為什么坩堝底料過(guò)多會(huì)使三葉坩堝爆裂的原因 . 2、加熱時(shí)間過(guò)長(zhǎng),石英坩堝質(zhì)量不夠好,原料PH值不符合要求,會(huì)導(dǎo)致漏硅、滲硅。 就是使三瓣鍋相互粘連,清爐時(shí)可能會(huì)分別形成裂紋。 3、在加熱過(guò)程中,只有三葉坩堝的熱源來(lái)自兩個(gè)方面,一是加熱器的輻射,二是石英坩堝的傳導(dǎo),導(dǎo)致三葉坩堝在 受熱不均勻,受熱時(shí)向一定方向膨脹。 大,向其他方向收縮,然后導(dǎo)致三瓣鍋開(kāi)裂。  

    熱場(chǎng)的組成部分,如加熱器、三葉坩堝、石墨支架、隔熱罩等,均由石墨制成。 在生產(chǎn)過(guò)程中,經(jīng)常會(huì)遇到加熱設(shè)備損壞的現(xiàn)象,那么石墨設(shè)備損壞的原因是什么,應(yīng)該采用什么方法來(lái)延長(zhǎng)石墨設(shè)備的使用壽命呢? 石墨設(shè)備的損壞主要是人為和變質(zhì)造成的。 在人的方面,只要加強(qiáng)管理,增強(qiáng)員工的防備意識(shí),就能將損失降到更低的水平。 這里的主要討論是惡化。 首先我們來(lái)了解一下石墨的相關(guān)特性,

2、耐高溫,石墨熔點(diǎn)高,真空中3850度,低壓下溫度2200度。 與普通材料不同的是,當(dāng)溫度升高時(shí),石墨不僅不會(huì)軟化,還會(huì)增加強(qiáng)度。 在2500℃溫度升高時(shí),石墨的抗拉強(qiáng)度增加一倍。


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